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直通式西门子质量流量计的应用原理

        热式西门子质量流量计的毛细管是一根管径长度与管道内劲比值很大的的部件,比较容易在管壁上沉积垢层或被异物堵塞,毛细管与气体主通道之间是一体式设计,是不可拆卸的部件。正因为一体式设计,热式质量流量计的密封性比其它工作原理的质量流量计较好,可测量强腐蚀性气体的质量流量。这也就是为什么在半导体行业的蚀刻应用比较常见的都是热式工作原理的质量流量计。
        直通式西门子质量流量计工作原理直通式热式质量流量计的工作原理与上面毛细管热式质量流量计其实有些似,只是没有旁路结构,将流量传感器直接置于管路中测量通过该管道内气体的质量流量。用于直通式热式质量流量计中的流量传感器其实是一块很小的芯片,贴于管道内壁上,所以直通式热式质量流量计也称为热贴片式质量流量计,直通式热式质量流量计的测量精度相对差一些,通常用于对精度要求不是很严苛的应用,比如石化行业等。优点是体积娇小,方便工业集成。差压式质量流量计的工作原理差压式质量流量计的工作原理就是测量管路中两点之间的压力差,用层流片工作原理测量,气体可以随便切换,并利用文丘里管结构使气体做层流运动。
        

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